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    Titel :

    Mathematische Modellierung und numerische Simulation von CVD-Prozessen in der Halbleitertechnik


    Beteiligte:
    Kadinski, Lev (Autor:in)

    Erscheinungsdatum :

    1996


    Format / Umfang :

    VI, 198 S


    Anmerkungen:

    Ill., graph. Darst


    Medientyp :

    Hochschulschrift


    Format :

    Print


    Sprache :

    Deutsch



    Klassifikation :

    RVK:    ZM 7680 / ZN 4800
    BKL:    53.36 Energiedirektumwandler, elektrische Energiespeicher