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    Titel :

    The high-resolution nanostructuring of Si wafer surface with 10 nm scale using a combined ion bombarding technique and chemical reaction


    Beteiligte:
    Jeon, H. J. (Autor:in) / Jeong, H. S. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MACROMOLECULAR RESEARCH ; 24 , 11 ; 1014-1019


    Erscheinungsdatum :

    2016-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    668.9




    Alignment technique using wafer rear surface

    Katagiri, Souichi / Moriyama, Shigeo / Terasawa, Tsuneo | SPIE | 1992


    Nanostructuring repairs lithographic masks

    British Library Online Contents | 2000


    Toward nanostructuring with femtosecond laser pulses [5662-118]

    Koch, J. / Tanabe, T. / Korte, F. et al. | British Library Conference Proceedings | 2004