Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Micro fluidic control systems in deep etch optical lithography


    Beteiligte:
    Pye, N. (Autor:in) / McCormick, M. (Autor:in) / Chowaneitz, E. G. (Autor:in) / Harper, M. (Autor:in) / Goodwin, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MICROSYSTEM TECHNOLOGIES ; 4 , 4 ; 197-200


    Erscheinungsdatum :

    1998-01-01


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Fabrication of Micro-Optical Systems with Deep X-Ray Lithography

    Sweatt, W. C. / Christenson, T. R. / Optical Society of America | British Library Conference Proceedings | 2002


    Fabrication of functional polymeric prototypes for micro-fluidic and micro-optical applications

    Pfleging, W. / Bohm, J. / Finke, S. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Single etch grating couplers for mass fabrication with DUV lithography

    Halir, R. / Zavargo-Peche, L. / Xu, D. X. et al. | British Library Online Contents | 2012


    FLUIDIC CONTROL

    WARSOP CLYDE / CROWTHER WILLIAM JAMES / LUNNON IAN | Europäisches Patentamt | 2021

    Freier Zugriff

    Fluidic control

    CLYDE WARSOP / IAN LUNNON / WILLIAM JAMES CROWTHER | Europäisches Patentamt | 2021

    Freier Zugriff