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    Titel :

    Silicon Bulk Micromachining in Tohoku University




    Erscheinungsdatum :

    1996-01-01


    Format / Umfang :

    8 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.1



    Tohoku University low-turbulence wind tunnel

    KOHAMA, Y. / KOBAYASHI, R. / ITO, H. | AIAA | 1992


    Micromachining Of Silicon

    Dickman, John E. | NTRS | 1988


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    Silicon mirror arrays fabricated by using bulk and surface micromachining [3008-34]

    Gessner, T. / Doetzel, W. / Billep, D. et al. | British Library Conference Proceedings | 1997


    Bulk micromachining for sensors and actuators [4179-201]

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