Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    H^ Control for Positioning of XY Stage


    Beteiligte:
    Sato, M. (Autor:in) / Wakui, S. (Autor:in) / Hara, S. (Autor:in) / Nishi, Y.


    Erscheinungsdatum :

    1995-01-01


    Format / Umfang :

    254 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Unbekannt


    Klassifikation :

    DDC:    629.8



    Stage positioning system and lithographic apparatus

    AANGENENT WILHELMUS HENRICUS THEODORUS MARIA / KOORNEEF LUCAS FRANCISCUS / RUIJL THEO ANJES MARIA et al. | Europäisches Patentamt | 2018

    Freier Zugriff

    Design, identification, and control of a linear dual-stage actuation positioning system

    Zheng, J. / Fu, M. / Lu, R. et al. | BASE | 2018

    Freier Zugriff

    Fastener Identification Method Based on Two-Stage Positioning

    Li, Yan / Liu, Hongbin / Liu, Zhigang | Springer Verlag | 2022



    An on-line identification method for precision positioning stage

    Dong,R. / Tan,Y. / Chen,X. et al. | Kraftfahrwesen | 2014