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    Titel :

    An Electrometric Method to Measure the Mechanical Parameters of MEMS Devices


    Beteiligte:
    Li, J. (Autor:in) / Zhongyu, G. (Autor:in) / Dong, J. (Autor:in) / Gal, M. / IEEE

    Kongress:

    Conference, Optoelectronic and microelectronic materials and devices; COMMAD 2002 ; 2002 ; Sydney, Australia



    Erscheinungsdatum :

    2002-01-01


    Format / Umfang :

    4 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat no 02EX601




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    An electrometric method to measure the mechanical parameters of MEMS devices

    Li Jiang, / Gao Zhongyu, / Dong Jingxin, | IEEE | 2002



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