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    Titel :

    Evaluating optical and supersmooth surface using AFM in optical manufacturing technology [4099-07]


    Beteiligte:
    Li, J. (Autor:in) / Xiao, S. (Autor:in) / Li, X. (Autor:in) / Ying, A. (Autor:in) / Zhao, A. (Autor:in) / Al-Jumaily, G. A. / SPIE

    Kongress:

    Conference, Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries ; 2000 ; San Diego, CA



    Erscheinungsdatum :

    2000-01-01


    Format / Umfang :

    6 pages




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Nr. 4099

    DataCite | 1924


    Optical characterization of doping profiles in silicon [4099-04]

    Bernini, R. / Zeni, L. / Pierri, R. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


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    Thomas, M. E. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


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    Vollrath, W. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 2000


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    Steinert, J. / Gliech, S. / Wuttig, A. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000